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尼康推出浸潤式 ArF 光刻機 NSR-S636E,時隔二十多年再發新品

2023-12-07 來源: IT之家
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關鍵詞: 尼康 光刻機

12 月 7 日消息,尼康官網發布新聞稿,宣布推出浸潤式 ArF 光刻機新品 NSR-S636E,將于明年 1 月開售。



據介紹,NSR-S636E 是尼康光刻系統中生產率最高的產品,是一款用于關鍵層的浸潤式光刻機。


尼康表示,隨著數字化轉型的加速,能夠更快地處理和傳輸大量數據的高性能半導體變得越來越重要。尖端半導體性能技術創新的關鍵推動因素是電路小型化和 3D 半導體器件結構,而 ArF 浸潤式光刻機對這兩種制造工藝都至關重要。與傳統半導體相比,在 3D 半導體制造過程中更容易發生晶圓翹曲和失真,因此需要比以往任何時候都更先進的光刻機校正和補償能力。


NSR-S636E ArF 光刻機利用增強型 iAS(inline Alignment Station),在曝光前執行復雜的晶圓多點測量。這一系統利用高精度測量和廣泛的晶圓翹曲和失真校正功能,提供了更高的重疊精度,同時保持了最大的吞吐量。


尼康表示,與當前型號相比,NSR-S636E 的生產效率提高了 10-15%。


從尼康官網參數表獲悉,NSR-S636E 光刻機支持 38nm 以下精度,吞吐量可達 280 片晶圓 / 小時。



據日經新聞此前報道,時隔二十多年,尼康將于 2024 年投放光刻機新產品,通過尋求逆勢開拓中國大陸市場,以實現卷土重來。


報道還稱,尼康和佳能曾在 1990 年代之前主導市場,但在最尖端的極紫外(EUV)設備的開發競爭中敗給了 ASML。極紫外光刻機在 2010 年后半期實用化,全世界只有 ASML 能夠生產。另一方面,尼康的經營資源分散在各種光源上,缺乏強勢領域。



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