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EUV光刻機3大核心:2大來自德國,1大來自美國,ASML負責組裝

2023-02-10 來源: 互聯網亂侃秀
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關鍵詞: 光刻機 ASML SMIC

眾所周知,在芯片領域有一種特別重要,特別受關注,同時中國技術又相對落后的設備,那就是光刻機,芯片制造必不可少的設備之一。

特別是EUV光刻機,目前全球僅ASML一家能夠制造,很多人稱EUV光刻機是人類建造的最復雜的機器之一,所以ASML也被很多人奉上“神壇”,甚至還傳出“給你全套圖紙,你也造不出光刻機”的說法。

但要我說,ASML其實也只是一個組裝廠,它是整合全球的供應鏈,最后將什么EUV光刻機組裝了出來,你會怎么想?

EUV光刻機的原理是什么?說起來超級簡單,就是激光器激發出13.5nm波長的極紫外線,然后經過矯正后形成一束可控的光,再用能量控制器,將這一束光投射到光掩膜臺后,再經過物鏡投射到曝光臺,最后在涂了光刻膠的硅晶圓上蝕刻出電路。

一臺EUV光刻機有三項核心技術,分別是頂級的光源(激光系統)、高精度的鏡頭(物鏡系統)、精密儀器制造技術(工作臺)。

激光系統就是產生極紫外線的系統,這項技術來源于美國企業Cymer,2012年被ASML收購了。

高精度的鏡頭,也就是將激光進行收集成束,以及物鏡系統,這一塊的技術來源德國的蔡司,蔡司拿出了全世界最平表現的元件,那就是分布式布拉格反射器。

第三項核心技術,也就是精密儀器制造技術,也來自于德國,甚至連核心一中的整體打包方案都是德國TRUMPF公司提供的。

按照媒體的說法,一臺EUV光刻機中,超過10萬個零件,其中ASML只掌握了不到10%的核心技術,另外的90%全靠ASML全球去整合資源,甚至需要全球進口。

ASML最大的能力是了解客戶需求,整合供應鏈,最后把光刻機組裝出來,這一特質,在當時ASML與臺積電合作,全球首造浸潤式光刻機時就注定了的。

當時,尼康、佳能是光刻機大哥,ASML只是小廠,臺積電提出可以用水做介質,尼康、佳能傲慢自大,認為這是個餿主意,而ASML是小廠,看不到希望,干脆搏一搏,說不定單車變摩托,最后這一搏,搏出來了ASML的未來。

所以ASML嘗到了甜頭后,認清了現實,那就是自己最重要的就是看各大晶圓廠需要什么樣的東西,然后再全球找供應鏈,再和客戶一起研究試驗,把客戶需要的東西組裝出來。

而不是自己苦哈哈的埋頭做研究,最后發現這研究出來的玩意,客戶不需要,那才是研發的失敗,這是ASML的長處,也是芯片行業的叢林法則,那就是攢局,將各大利集團捆綁在一起,才是核心。



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